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ASTM F1513-1999

电子薄膜设备用纯铝(非合金)原始材料规格

Standard Specification for Pure Aluminum (Unalloyed) Source Material for Electronic Thin Film Applications

实施日期: 1999-12-10

ICS分类号: 31.200 - 电子学 - 集成电路、微电子学

标准组织: ASTM - 美国材料与试验协会标准

全文来源: WF

语种: 汉语

页数: 2

标准解读