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BS EN 62047-11-2013

半导体装置 微机电设备 独立材料材料的微机电系统线性热膨胀系数测定方法

Semiconductor devices. Micro-electromechanical devicesTest method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical systems

发布日期: 2013-10-31

实施日期: 2013-10-31

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