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BS EN 62047-2-2006

Halbleiterbauelemente. Bauteile der Mikrosystemtechnik. Pruefverfahren zur Zugbeanspruchung bei Duennschicht-Werkstoffen Semiconductor devices Micro-electromechanical devices Part 2:Tensile testing method of thin film materials Dispositifs a semiconducteurs. Dispositifs microelectromecaniques. Methode d'essai de traction des materiaux en couche mince

实施日期: 2006-11-29

ICS分类号: 31.080.99 - 电子学 - 其他半导体器件

标准组织: BS - 英国标准学会标准

全文来源: WF

中文关键词: 元部件 材料 微电子学 微系统技术 特性 试样 半导体器件 规范(验收) 符号 系统工程 拉伸应变 抗拉试验 试验 试验条件 试验装置 薄膜

语种: eng

页数: 16

标准解读