Halbleiterbauelemente. Bauteile der Mikrosystemtechnik. Duennschicht-Standardmikroprobe fuer die Pruefung der Zugbeanspruchung Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Part 3:Thin film standard test piece for tensile testing Dispositifs a semiconducteurs. Dispositifs microelectromecaniques. Eprouvette d'essai normalisee en couche mince pour l'essai de traction

BS EN 62047-3-2006

Halbleiterbauelemente. Bauteile der Mikrosystemtechnik. Duennschicht-Standardmikroprobe fuer die Pruefung der Zugbeanspruchung Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Part 3:Thin film standard test piece for tensile testing Dispositifs a semiconducteurs. Dispositifs microelectromecaniques. Eprouvette d'essai normalisee en couche mince pour l'essai de traction

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实施日期： 2006-11-30

ICS分类号： 31.080.99 - 电子学 - 其他半导体器件

标准组织： BS - 英国标准学会标准

全文来源： WF

中文关键词：组件材料微电子学微系统技术精密度性能样品半导体器件规范(验收) 标准方法符号系统工程拉伸应变抗拉测试测试测试装置测试系统薄膜薄膜器件薄膜技术

语种： eng

页数： 12

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