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DIN 32564-1-2004

微系统加工设备 概念 第1部分:微系统技术的一般概念

Production equipment for micro- systems - Terms and definitions - Part 1: General terms of micro-system technology

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中标分类号： N04 - 仪器、仪表 - 基础标准与通用方法

ICS分类号： 01.040.39,39.020 - 综合、术语学、标准化、文献

标准组织： DIN - 德国国家标准学会标准

全文来源： WF

中文关键词： 工件 微技术 定义 半导体工程 制造 设备结构 精密机械 加工工程 制造用设备 设备工程 术语 加工设备 标准化

语种： 汉语

页数： 6

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