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DIN 50450-1-1987
Testing of materials for semiconductor technology; determination of impurities in carrier gases and doping gases; determination of water impurity in hydrogen, oxygen, nitrogen, argon and helium by using a diphosphorus pentoxide cell
适用范围：The standard determines a test method for the determination of water impurity in carrier gases and doping gases (H<(Index)>2, O<(Index)2>, N<(Index)2>, Ar, He) used in the semi conductor technology.
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