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DIN 50451-1-2003

半导体工艺的材料检验 液体中痕量元素的测定 第1部分:用AAS法测定硝酸中的银、金、钙、铜、铁、钾和钠

Testing of materials for semiconductor technology; determination of traces of elements in liquids; Part 1: Silver(Ag), gold(Au), calcium(Ca), copper(Cu), iron(Fe), potassium(K) and soldium(Na) in nitric acid by AAS

中标分类号: L56 - 电子元器件与信息技术 - 半导体集成电路

ICS分类号: 29.045 - 电气工程 - 半导体材料

标准组织: DIN - 德国国家标准学会标准

全文来源: WF

中文关键词: 半导体工程 金属 半导体 定义 微量元素分析 材料 原子吸收光谱测定法 试验 材料试验 含量测定 检定 贵金属 硝酸 重金属 高纯度 分析 原子吸收分光光度测定法 半导体工艺 微量元素 纯净水 化学分析和试验 液体

语种: 汉语

页数: 4

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