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DIN 50451-4-2007

Testing of materials for semiconductor technology - Determination of trace elements in liquids - Part 4: Determination of 34 elements in ultra pure water by mass spectrometry with inductively coupled plasma (ICP-MS)

实施日期: 2007-02-01

ICS分类号: 29.045 - 电气工程 - 半导体材料

标准组织: DIN - 德国国家标准学会标准

全文来源: WF

中文关键词: 分析 化学分析和试验 定义 测定 含量测定 高纯净 感应 液体 质谱学 材料 材料试验 金属 硝酸 等离子体 抽样方法 半导体工程 半导体工艺 半导体 纯净水 试验 痕量元素

语种: eng

页数: 13

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