Testing of materials for semiconductor technology - Determination of trace elements in liquids - Part 5: Guideline for the selection of materials and testing of their suitability for apparatus for sampling and sample preparation for the determination of trace elements in the range of micrograms per kilogram and nanograms per kilogram

DIN 50451-5-2010

Testing of materials for semiconductor technology - Determination of trace elements in liquids - Part 5: Guideline for the selection of materials and testing of their suitability for apparatus for sampling and sample preparation for the determination of trace elements in the range of micrograms per kilogram and nanograms per kilogram

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实施日期： 2010-03-01

ICS分类号： 29.045 - 电气工程 - 半导体材料

标准组织： DIN - 德国国家标准学会标准

全文来源： WF

中文关键词：化学分析和试验化学元素化合物定义测定含量测定高纯度杂质液体材料选择材料试验材料材料测试性能试验抽样方法选择半导体工程半导体工艺半导体试样制备适宜性试验痕量元素水水污染防止水污染

语种： eng

页数： 11

标准解读

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