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DIN 50452-3-1995

半导体技术用材料的检验.液体中粒子分析的检验方法.第3部分:光学粒子计数器的校准

Testing of materials for semiconductor technology - Test method for particle analysis in liquids - Part 3: Calibration of optical particle counters

中标分类号: L90 - 电子元器件与信息技术 - 电子技术专用材料

ICS分类号: 29.045 - 电气工程 - 半导体材料

标准组织: DIN - 德国国家标准学会标准

全文来源: WF

中文关键词: 粒子分析 颗粒物质的测定 测量技术 校正 材料试验 浓缩值 浓缩 定义 半导体工艺 光学测量 流量测量

语种: 汉语

页数: 7

标准解读