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DIN 50455-2-1999

半导体技术用材料的试验.表征光敏抗蚀剂的方法.第2部分:阳极光敏抗蚀剂的光敏度的测定

Testing of materials for semiconductor technology - Methods for the characterisation photoresists - Part 2: Determination of photosensitivity of positive photoresists

中标分类号: H80 - 冶金 - 半金属与半导体材料综合

ICS分类号: 29.045 - 电气工程 - 半导体材料

标准组织: DIN - 德国国家标准学会标准

全文来源: WF

中文关键词: 测量规程 清漆 半导体工艺 材料试验 测量 光蚀 定义 试验 特性 光学测量 材料 检验 测量技术 光敏材料 化合物 感光度

语种: 汉语

页数: 5

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