查看标准

请选择需要导出的字段:

DIN EN 62047-2-2007

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 2: Tensile testing method of thin film materials (IEC 62047-2:2006)

实施日期: 2007-02-01

ICS分类号: 31.080.01,31.220.01 - 电子学

标准组织: DIN - 德国国家标准学会标准

全文来源: WF

中文关键词: 组件 材料 微电子学 微系统技术 特性 试样 半导体器件 规范(验收) 符号 系统工程 拉伸应变 抗拉试验 试验 试验条件 试验装置 薄膜 薄膜技术

语种: eng

页数: 14

标准解读