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DIN EN 62047-6-2010
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 6: Axial fatigue testing methods of thin film materials (IEC 62047-6:2009); German version EN 62047-6:2010
实施日期： 2010-07-01
中标分类号： L40 - 电子元器件与信息技术 - 半导体分立器件综合
ICS分类号： 31.080.01,31.220.01 - 电子学
标准组织： DIN - 德国国家标准学会标准
全文来源： WF
英文关键词： Base materials Definitions Dimensions Electrical engineering Fatigue Fatigue limit Materials Microelectronics Microsystem techniques Room air temperature Samples Semiconductor devices Specification (approval) System engineering Tensile strain Tensile testing Testing Testing devices Testing system Thin films Thin-film devices Thin-film technology
语种： 汉语
页数： 20
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