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EN 62047-3-2006

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices Part 3: Thin film standard test piece for tensile testing

标准组织: CEN - 欧洲标准化委员会标准

全文来源: WF

中文关键词: 组件 材料 微电子学 微系统技术 精密度 特性 试样 半导体器件 规范(验收) 标准方法 符号 系统工程 拉伸应变 抗拉试验 试验 试验装置 试验体系 薄膜 薄膜器件 薄膜技术

语种: eng

页数: 12

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