Cleanrooms and associated controlled environments - Part 1: Classification of air cleanliness by particle concentration (ISO 14644-1:2015)

EN ISO 14644-1-2015

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发布日期： 2015-12-23

实施日期： 2015-12-23

标准组织： CEN - 欧洲标准化委员会标准

全文来源： WF

英文关键词： Air pollution Air purity Air quality Airborne dust Categories of purity Classification Classification systems Clean rooms Cleanliness Clean-room technology Concentration Concentration of particles Consistency Definitions Degree of purity Determination of content Documentation Exterior areas Impurities Light scatter measurement Methods Number of particles Particle analysis Particle size Particle size distribution Particles Particulate air pollutants Pure air Purity criterion Purity test Testing Procedures Processes

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