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GB 6621-1986

硅抛光片表面平整度的非接触式测试方法

实施日期: 1987-06-30

作废日期: 1995-12-01

中标分类号: H26 - 冶金 - 金属无损检验方法

ICS分类号: 29.040.30 - 电气工程 - 半导体材料

标准组织: GB - 国家标准

全文来源: WF

中文关键词: 衬底(绝缘) 抛光 表面 平整度 测量 非接触式测试

语种: 汉语

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