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GB/T 10067.410-2014
Basic specifications for electroheat installations―Part 410: Single crystal growing furnace
适用范围：本部分规定了对TDR晶体炉的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以 及标志、包装、运输和贮存。 本部分适用于直拉法拉制半导体硅、锗等单晶的单晶炉。
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