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GB/T 11068-2006

砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法

Gallium arsenide epitaxial layer - determination of carrier concentration voltage-capacitance method

适用范围:本标准规定了砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法,适用于砷化镓外延层基体材料中载流子浓度的测量。测量范围:1×10^14cm^-3~5×10^17cm^-3。

发布日期: 2006-07-18

实施日期: 2006-11-01

中标分类号: H17 - 冶金 - 半金属及半导体材料分析方法

ICS分类号: 77.040.01 - 冶金 - 金属材料试验综合

标准组织: GB - 国家标准

全文来源: 质检出版社

中文关键词: 镓无机化合物 载流子浓度 试验 外延层 砷化物

语种: 汉语

页数: 8

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