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GB/T 14142-1993

硅外延层晶体完整性检查方法

Test method for crystallographic perfection of epit-axial layers in silicon by etching techniques

发布日期: 1993-02-06

实施日期: 1993-10-01

作废日期: 2018-04-01

中标分类号: H26 - 冶金 - 金属无损检验方法

ICS分类号: 29.040.30 - 电气工程 - 半导体材料

标准组织: GB - 国家标准

全文来源: 质检出版社

中文关键词: 外延层 完整 晶体(电子) 检验

语种: 汉语

页数: 7

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