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GB/T 17169-1997

硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法

实施日期: 1998-08-01

作废日期: 2005-10-14

中标分类号: H24 - 冶金 - 金相检验方法

ICS分类号: 29.045 - 电气工程 - 半导体材料

标准组织: GB - 国家标准

全文来源: 质检出版社

中文关键词: 衬底(绝缘) 半导体 反射 外延片 表面 质量 无损检验 抛光片

语种: 汉语

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