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GB/T 24582-2009

酸浸取 电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质

Test method for measuring surface metal contamination of polycrystalline silicon by acid extraction-inductively coupled plasma mass spectrometry

发布日期: 2009-10-30

实施日期: 2010-06-01

中标分类号: H80 - 冶金 - 半金属与半导体材料综合

ICS分类号: 29.045 - 电气工程 - 半导体材料

标准组织: GB - 国家标准

全文来源: 质检出版社

中文关键词: 化学分析和试验 半导体 含量测定 晶体 杂质

语种: 汉语

页数: 7

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