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GB/T 25755-2010

真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量

Vacuum technology - Sputter-ion pumps - Measurement of performance characteristics

发布日期: 2010-12-23

实施日期: 2011-10-01

中标分类号: J78 - 机械 - 真空技术与设备

ICS分类号: 23.160 - 流体系统和通用部件 - 真空技术

标准组织: GB - 国家标准

全文来源: 质检出版社

中文关键词: 真空技术 真空设备 离子泵 性能 标准化参数 测量

语种: 汉语

页数: 12

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