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GB/T 26066-2010

硅晶片上浅腐蚀坑检测的测试方法

practice for shallow etch pit detection on silicon

发布日期: 2011-01-10

实施日期: 2011-10-01

中标分类号: H80 - 冶金 - 半金属与半导体材料综合

ICS分类号: 29.045 - 电气工程 - 半导体材料

标准组织: GB - 国家标准

全文来源: 质检出版社

中文关键词: 晶体 晶体(电子) 耐腐蚀性 检测

语种: 汉语

页数: 7

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