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GB/T 31225-2014

椭圆偏振仪测量硅表面上二氧化硅薄层厚度的方法

Test method for the thickness of silicon oxide on Si substrate by ellipsometer

发布日期: 2014-09-30

实施日期: 2015-04-15

中标分类号: J04 - 机械 - 基础标准与通用方法

ICS分类号: 17.040.01 - 计量学和测量、物理现象 - 长度和角度测量综合

标准组织: GB - 国家标准

全文来源: 质检出版社

语种: 汉语

页数: 10

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