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GB/T 38614-2020

基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法

Measuring method for nano positioning and scanning stage based on flexible hinge mechanism and piezo actuator

发布日期: 2020-04-28

实施日期: 2020-11-01

中标分类号: N10 - 仪器、仪表 - 工业自动化仪表与控制装置综合

ICS分类号: 01.040.39 - 综合、术语学、标准化、文献 - 精密机械、珠宝(词汇)

标准组织: GB - 国家标准

全文来源: 质检出版社

语种: 汉语

页数: 16

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