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GB/T 4059-2018

硅多晶气氛区熔基磷检验方法

Test method for phosphorus content in polycrystalline silicon by zone-melting method under controlled atmosphere

发布日期: 2018-12-28

实施日期: 2019-11-01

中标分类号: H17 - 冶金 - 半金属及半导体材料分析方法

ICS分类号: 77.040 - 冶金 - 金属材料试验

标准组织: GB - 国家标准

全文来源: 质检出版社

语种: 汉语

页数: 9

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