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GB/T 6616-2009

半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测试方法 非接触涡流法

Test methods for measuring resistivity of semiconductor wafers or sheet resistance of semiconductor films with a noncontact eddy-current gauge

发布日期: 2009-10-30

实施日期: 2010-06-01

中标分类号: H80 - 冶金 - 半金属与半导体材料综合

ICS分类号: 29.045 - 电气工程 - 半导体材料

标准组织: GB - 国家标准

全文来源: 质检出版社

中文关键词: 电阻测量 半导体 电阻率 半导体材料 电阻 晶体

语种: 汉语

页数: 8

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