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GB/T 6621-2009

硅片表面平整度测试方法

Testing methods for surface flatness of silicon slices

发布日期: 2009-10-30

实施日期: 2010-06-01

中标分类号: H80 - 冶金 - 半金属与半导体材料综合

ICS分类号: 29.045 - 电气工程 - 半导体材料

标准组织: GB - 国家标准

全文来源: 质检出版社

中文关键词: 半导体 半导体材料 晶体 平整度 表面性质

语种: 汉语

页数: 6

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