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IEC 62047-2-2006

半导体器件 微电机器件 第2部分:薄膜材料的拉伸测试方法

Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Part 2:Tensile testing method of thin film materials Dispositifs. semiconducteurs. Dispositifs microélectromécaniques. Partie 2:Méthode d'essai de traction des matériaux en couche mince Edition 1.0

发布日期: 2006-08-15

实施日期: 2006-08-01

中标分类号: L40,L04 - 电子元器件与信息技术

ICS分类号: 31.080.01,31.080.99,31.220.01 - 电子学

标准组织: IEC - 国际电工委员会标准

全文来源: WF

中文关键词: 组件 材料 微电子学 微系统技术 特性 试样 半导体器件 规范(验收) 符号 系统工程 拉伸应变 抗拉试验 试验 试验条件 试验装置 薄膜技术

语种: 汉语

页数: 34

标准解读