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IEC 62047-6-2009

半导体器件 微电机器件 第6部分:薄膜材料的轴向疲劳试验方法

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 6: Axial fatigue testing methods of thin film materials

发布日期: 2009-04-07

实施日期: 2009-04-07

中标分类号: L40 - 电子元器件与信息技术 - 半导体分立器件综合

ICS分类号: 31.080.99 - 电子学 - 其他半导体器件

标准组织: IEC - 国际电工委员会标准

全文来源: WF

中文关键词: 定义 电气工程 疲劳 疲劳限制 材料 微电子学 微小系统技术 试样 半导体器件 规范(验收) 系统工程 拉伸应变 拉伸测试 试验 试验装置 试验体系 薄膜 薄膜器件 薄膜技术

语种: 汉语

页数: 30

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