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ISO 10692-1-2001

汽缸 在微电子工业中使用的汽缸阀连线 第1节:输出线

Gas cylinders. Gas cylinder valve connections for use in the micro-electronics industry. Part 1:Outlet connections first edition

适用范围:This part of ISO 10692 applies to the outlet connections of gas cylinder valves for gases and gas mixtures and concerns special requirements where the highest levels of cleanliness and freedom from particles are demanded for the manufacture of microelectronic components or similar applications.

实施日期: 2001-08-15

中标分类号: J74 - 机械 - 压力容器

ICS分类号: 23.020.30 - 流体系统和通用部件 - 压力容器、气瓶

标准组织: ISO - 国际标准化组织标准

全文来源: WF

中文关键词: 应用 试验 设计 工业 气阀 粒子浓度 保护装置 保护设备 气瓶阀 连接 机械性能 材料 规范(验收) 气体 颗粒 材料强度 安全装置 储气罐 护罩 储气瓶 阀门 清洁(度) 应用范围 阀门帽 气体所有权 微电子学

语种: 汉语

页数: 22

标准解读