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ISO 14606-2015

Surface chemical analysis -- Sputter depth profiling -- Optimization using layered systems as reference materials

发布日期: 2015-12-01

实施日期: 2015-12-01

ICS分类号: 71.040.40 - 化工技术 - 化学分析

标准组织: ISO - 国际标准化组织标准

全文来源: WF

英文关键词: Atomization Chemical analysis and testing Definitions Depth profile Determination of content Electron spectroscopy Finishes Ion beams Layers Optimization Reference materials Sputtering Surfaces X-ray spectrometry

语种: eng

页数: 16

标准解读