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JIS C5630-2-2009
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Part 2:Tensile testing method of thin film materials
实施日期： 2009-03-20
中标分类号： L40,L04 - 电子元器件与信息技术
ICS分类号： 31.080.01,31.080.99,31.220.01 - 电子学
标准组织： JIS - 日本工业标准
全文来源： WF
语种： 汉语
页数： 16
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