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JIS H0615-1996
Test method for determination of impurity concentrations in silicon crystal by photoluminescence spectroscopy
适用范围：この規格は,フォトルミネッセンスによるシリコン単結品及び多結品シリコンの不純物濃度の定方法について規定する。測定可能な不純物元素は，ボロン(B)，アルミニウム(Al) ,りん(P)及びひ素(As)で測定濃度範囲は1×1011～5×015atoms/cm3 (0.002～100 ppba)である。
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