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JIS H0615-1996

用光致发光测定硅结晶中不纯物浓度的方法

Test method for determination of impurity concentrations in silicon crystal by photoluminescence spectroscopy

中标分类号: L21,L10 - 电子元器件与信息技术

ICS分类号: 73.080 - 采矿和矿产品 - 非金属矿

标准组织: JIS - 日本工业标准

全文来源: WF

中文关键词: 浓度(化学) 冷光 硅氧烷 光密度计 杂质

语种: 汉语

页数: 24

标准解读