Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 12 : bending fatigue testing method of thin film materials using resonant vibration of MEMS structures.

NF C96-050-12-2012

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 12 : bending fatigue testing method of thin film materials using resonant vibration of MEMS structures.

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标准组织： NF - 法国国家标准

全文来源： WF

英文关键词： Bending strength Definitions Electrical engineering Fatigue Fatigue limit Materials Microelectronics Microsystem techniques Resonance Samples Semiconductor devices System engineering Testing Testing devices Testing system Thin-film technology

语种： eng

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