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NF C96-050-3-2006

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 3 : thin film standard test piece for tensile testing.

ICS分类号: 29.045,31.080.01 - 电气工程

标准组织: NF - 法国国家标准

全文来源: WF

中文关键词: 组件 材料 微电子学 微系统技术 精密度 特性 试样 半导体器件 规范(验收) 标准方法 符号 系统工程 拉伸应变 抗拉试验 试验 试验装置 试验体系 薄膜 薄膜器件 薄膜技术

语种: eng

页数: 10

标准解读