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PD 6598-1996

欧洲迷你试验芯片特征化的测量技术

Measurement techniques for the characterization of the European mini test chip

实施日期: 1996-07-15

ICS分类号: 31.200 - 电子学 - 集成电路、微电子学

标准组织: PD - 英国标准学会标准(发行文档)

全文来源: WF

中文关键词: 电容测量 厚度测量 电学测量 金属氧化物半导体 频率测量 尺寸测量 电容器 晶体管 数字集成电路 微处理机芯片 电流测量

语种: 汉语

页数: 28

标准解读