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SJ 1551-1979

硅外延层电阻率测试方法(电容-电压法)

Method of measurement for resistivity of silicon epitaxial layer (capacitance-voltage method) (Provisional)

实施日期: 1980-06-01

作废日期: 2010-02-24

中标分类号: L90 - 电子元器件与信息技术 - 电子技术专用材料

标准组织: SJ - 电子行业标准

全文来源: 电子四所

中文关键词: 外延层 硅外延层 电阻率 测试方法

语种: 汉语

页数: 0

标准解读