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SJ 2594-1985

高纯四氯化硅中硼及金属杂质的化学光谱分析方法

Method for the analysis of boron and metalic impurities in pure SiC14-Spectro-chemical method

发布日期: 1985-07-31

实施日期: 1986-01-01

中标分类号: L90 - 电子元器件与信息技术 - 电子技术专用材料

标准组织: SJ - 电子行业标准

全文来源: 电子四所

中文关键词: 四氯化硅 硼含量 金属杂质 分析方法

语种: 汉语

页数: 6

标准解读