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SJ/T 10481-1994

硅外延层电阻率的面接触三探针测试方法

实施日期: 1994-10-01

作废日期: 2010-02-24

中标分类号: L32 - 电子元器件与信息技术

标准组织: SJ - 电子行业标准

全文来源: 电子四所

中文关键词: 硅外延层 电阻率 探针 测试方法

语种: 汉语

页数: 0

标准解读