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SJ/T 11275-2002

卧式液相外延系统通用规范

Generic specification for horizontal liquid phase epitaxial system

发布日期: 2002-10-30

实施日期: 2003-03-01

中标分类号: L92 - 电子元器件与信息技术 - 电子设备用绝缘零件

ICS分类号: 29.260 - 电气工程 - 特殊工作条件用电气设备

标准组织: SJ - 电子行业标准

全文来源: 电子四所

中文关键词: 卧式液相外延系统 液相 外延

语种: 汉语

页数: 12

标准解读