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SJ/T 11487-2015

半绝缘半导体晶片电阻率的无接触测量方法

Non-contact measurement method for the resistivity of semi-insulating semiconductor wafer

发布日期: 2015-04-30

实施日期: 2015-10-01

中标分类号: H83 - 冶金 - 化合物半导体材料

ICS分类号: 29.045 - 电气工程 - 半导体材料

标准组织: SJ - 电子行业标准

全文来源: WF

语种: 汉语

页数: 6

标准解读