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适用范围：本标准规定了用以制备薄膜的溅射用钽靶材的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单（或合同）内容。本标准适用于以真空电子束熔炼的高纯钽锭为原料，通过塑性加工、热处理、机械加工、焊接等方法制造的溅射用钽靶材。
发布日期： 2015-04-30
实施日期： 2015-10-01
中标分类号： H63 - 冶金 - 稀有高熔点金属及其合金
ICS分类号： 77.150.99 - 冶金 - 其他有色金属产品
标准组织： YS - 有色冶金行业标准
全文来源： 质检出版社
语种： 汉语
页数： 10
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