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YS/T 23-2016

硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法

Test method for thickness of epitaxial layers-Stacking fault size

发布日期: 2016-04-05

实施日期: 2016-09-01

中标分类号: H21 - 冶金 - 金属物理性能试验方法

ICS分类号: 77.040 - 冶金 - 金属材料试验

标准组织: YS - 有色冶金行业标准

全文来源: 质检出版社

语种: 汉语

页数: 8

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