Measuring methods of parameters of HgCdTe epilayers used for space infrared detectors
适用范围:本标准规定了空间红外探测器用啼锡汞( HgCdTe )外延材料性能参数的测试方法和测试设备要求。
发布日期:2013-12-17 实施日期:2014-05-15
Gallium arsenide epitaxial layer - determination of carrier concentration voltage-capacitance method
适用范围:本标准规定了砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法,适用于砷化镓外延层基体材料中载流子浓度的测量。测量范围:1×10^14cm^-3~5×10^17cm^-3。
发布日期:2006-07-18 实施日期:2006-11-01
Silicon epitaxial layers-determination of carrier concentration-mercury probe voltages-capacitance method
发布日期:2009-10-30 实施日期:2010-06-01
适用范围:本标准现定了外延钉缺陷的检验方法。本标准适用于任何直径与晶向的硅外延片上高度不小4μm的钉缺陷存在与否的判断。如果钉缺陷比较少且彼此不相连,本标准可用于钉缺陷的计数。本标准不能测量钉缺陷的高度。
实施日期:1993-01-01
Test method for thickness of lightly doped silicon epitaxial layers on heavily doped silicon substrates by infrared reflectance
适用范围:本标准规定了重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法。 本标准适用于衬底室温电阻率小于0.02Ω·cm和外延层室温电阻率大于0.1Ω·cm且外延层厚度大于2μm的硅外延层厚度的测量。
发布日期:1993-12-30 实施日期:1994-09-01
Method of measurement by infrared interference for thickness of homoepitaxial layers ...
实施日期:1987-06-30
Method of measurement for resistivity of silicon epitaxial layer (capacitance-voltage method) (Provisional) ...
实施日期:1980-06-01
Test method for crystallographic perfection of epit-axial layers in silicon by etching techniques
适用范围:本标准规定了用化学腐蚀显示,并用金相显微镜检验硅外延层晶体缺陷的方法。 本标准适用于硅外延层中堆垛层错和位错密度测量。硅外延层厚度应大于2μm。测量范围为0~10000cm^2。
发布日期:1993-02-06 实施日期:1993-10-01
Methods of measurement for extended-layer thickness of same-type Gallium arsenide by infra-red interference ...
实施日期:1989-03-25
实施日期:2010-11-01
Measuring thickness of epitaxial layers of gallium arsenide by infrared in terference
适用范围:本标准适用于砷化镓外延片外延层厚度的测量,测量厚度大于2μm。要求衬底材料的电阻率小于0.02Ω·cm,外延层的电阻率大于0.1Ω·cm。
发布日期:2006-07-18 实施日期:2006-11-01
请选择需要导出的字段:
请选择需要导出的字段:
知识产权声明 | 服务承诺 | 联系我们 | 客户服务 | 关于我们
互联网出版许可证:新出网证(京)字042号 互联网药品信息服务资格证书号:(京)-经营性-2011-0017 信息网络传播视听节目许可证 许可证号:0108284
万方数据标准管理系统V1.0 证书号:软著登字第4252816号
京ICP证:010071 京公网安备11010802020237号 京ICP备08100800号-1
客服电话:4000115888 客服邮箱:service@wanfangdata.com.cn 违法和不良信息举报电话:4000115888 举报邮箱:problem@wanfangdata.com.cn 举报专区:https://www.12377.cn
万方数据知识服务平台--国家科技支撑计划资助项目(编号:2006BAH03B01)©北京万方数据股份有限公司 万方数据电子出版社