实施日期:2010-11-01
Methods of measurement for extended-layer thickness of same-type Gallium arsenide by infra-red interference ...
实施日期:1989-03-25
Gallium arsenide epitaxy wafers
适用范围:本标准规定了砷化镓气相外延片和液相外延片的牌号命名法、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。 本标准适用于制备场效应晶体管、变容二极管。霍耳器件及耿氏器件用的砷化镓外延片。
发布日期:1989-03-20 实施日期:1989-03-25
Test method for thickness of lightly doped silicon epitaxial layers on heavily doped silicon substrates by infrared reflectance
适用范围:本标准规定了重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法。 本标准适用于衬底室温电阻率小于0.02Ω·cm和外延层室温电阻率大于0.1Ω·cm且外延层厚度大于2μm的硅外延层厚度的测量。
发布日期:1993-12-30 实施日期:1994-09-01
Method of measurement by infrared interference for thickness of homoepitaxial layers ...
实施日期:1987-06-30
适用范围:本标准规定了硅外延层和扩散层厚度 磨角染色达测试方法。本标准适用于薄层与衬底导电类型不同或两层电阻率相差至少一个数量级的任意电阻率的薄层厚度测量。测量范围:1~25 μm。
实施日期:1992-06-01
Silicon on sapphire epitaxial wafers
适用范围:本标准规定了蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片的技术要求、测试方法、检验规则。 本标准适用于半导体器件用蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片。
发布日期:1992-12-28 实施日期:1993-08-01
Test mothod for thickness of lightly doped silicon epitaxial layers on heavily doped silicon substrates by infrared reflectance
适用范围:本标准规定重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法。本标准适用于衬底在 23 ℃ 电阻率小于 0 . 02Ω· cm 和外延层在 23 ℃ 电阻率大于 0 .1Ω · cm 且外延层厚度大于 2μm 的 n 型和 p 型硅外延层厚度的测量;在降...
发布日期:2011-01-10 实施日期:2011-10-01
实施日期:2009-12-01
Gallium arsenide wafers by liquid phase epitaxy for Hall and Gunn devices
适用范围:本标准现定了外延钉缺陷的检验方法。本标准适用于任何直径与晶向的硅外延片上高度不小4μm的钉缺陷存在与否的判断。如果钉缺陷比较少且彼此不相连,本标准可用于钉缺陷的计数。本标准不能测量钉缺陷的高度。
实施日期:1993-01-01
Test method for sheet resistance of silicon epitaxial, diffused and ion-implanted layers using a collinear four-probe array
适用范围:本标准规定了用直排四探针测量硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的方法。本标准适用于测量直径大于15.9mm的由外延、扩散、离子注入到硅片表面上或表面下形成的薄层的平均薄层电阻。硅片基体导电类型与被测薄层相反。适用...
发布日期:2009-10-30 实施日期:2010-06-01
Method of measurement for resistivity of silicon epitaxial layer (capacitance-voltage method) (Provisional) ...
实施日期:1980-06-01
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